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MODERNIZATION FEATURES OF A VACUUM INSTALLATION BASED ON LOWPRESSURE ARC DISCHARGE FOR COMPOSITE TINCU LAYERS FORMATION

机译:基于低压电弧放电的复合镀锡层形成真空安装的现代化特征

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摘要

A hybrid technology for forming composite TiN-Cu layers under the combined influence of a magnetron and low pressure arc discharges has been designed. The parameters of the plasma generator have been studied. The technological parameters for layer deposition in the conditions of coordinated action of the vacuum arc evaporator and the planar magnetron have been studied. This report describes the phase composition of TiN-Cu layers and the structure on fused silica substrates.
机译:设计了一种在磁控管和低压电弧放电共同作用下形成复合TiN-Cu层的混合技术。已经研究了等离子体发生器的参数。研究了真空电弧蒸发器与平面磁控管协同作用下的层沉积工艺参数。该报告描述了TiN-Cu层的相组成和熔融石英衬底上的结构。

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